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电子材料与器件物理研究室 |
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X射线衍射仪
型 号: Smartlab 生产商: 日本理学 (Rigaku) 仪器特点: θ/θ设计,样品可以水平放置 为高分辨扫描而采用的闭环驱动系统 可选的9.0 kW转靶发生器 全部系统自动调整 向导软件全自动分析的基础 支持最大直径300 mm 晶圆 专利的CBO技术使聚焦光与平行光自动切换,无需重新配置 In-plane衍射臂用于in-plane测量无需重新配置 高分辨光学系统 SAXS 能力 |
地址:中国科学技术大学物质科研楼C309
所属单位:中国科学技术大学物理学院
联系方式:0551-63606554
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