脉冲激光沉积系统

  Laser-MBE原位高能电子衍射辅助脉冲激光沉积系统，该系统采用激光加热技术，可以实现衬底的快速升降温，最大升温速度可达100°C/min，且高可以达到1000°C；同时，机器增加Lock Load 传样腔，可以确保主腔不受外界环境污染且一直保持低真空状态，主腔极限真空可达1*10^-7Pa以下；同时，新增高通量系统，可以实现薄膜的梯度生长。