快速退火炉

型 号: RTP500V

生产商: 北京东之星物理研究所

用 途:
离子注入后快速退火；欧姆接触快速合金；硅化物合金退火；氧化物生长；其它快速热处理工艺。

主要参数:
温度范围：150~1300 ℃
最大升温速率：200 ℃/s
样品最大尺寸：4 inch
气氛：Vacuum（0.1 Pa）、H₂、N₂、Ar、O₂